SEMI标准

SEMI智能制造自动化标准

SEMI(国际半导体产业协会)是一个全球性的产业协会,服务于半导体、光伏(PV)、电子等高科技行业的制造供应链。SEMI管理着SEMI国际标准项目,并创建了SEMI 自动化标准,这是行业内供应商和客户之间不断发展的技术协议集合。

SEMI Standards overview graphic

SEMI自动化标准为半导体行业提供了关键的成功因素,包括了大数据采集和精细分析能力。作为行业内最大的工厂自动化软件供应商,理解这些标准对于我们的成功至关重要。我们在数个SEMI技术委员会和工作小组都具有领导地位,也使得我们在各种重点领域都有话语权。

SECS/GEM

工厂主机系统和生产设备之间的沟通

SEMI E30 GEM标准阐述了工厂主机(MES)和生产设备之间应该如何支持沟通和控制能力。详细的场景概括了SECS-II消息的准确顺序和部分(就如SEMI E5标准中定义的),这些消息应该用于一项特定的功能,以及必须向主机提供哪些支持设备数据。其目的是收集足够的信息,让主机了解设备的运行情况,并提供足够的监控来远程管理产品的加工,这样就不需要操作员一直在工厂现场。

SECS/GEM communication graphic

GEM300

SEMI 300mm标准

这套标准通常被称为“300mm标准”(包含了SEMI E39、SEMI E40、SEMI E87、SEMI E90、SEMI E94、SEMI E116),与GEM SEMI E30)一并介绍了一种更复杂的、工厂主机可用以进行远程控制和物料搬运的工序。

在300mm晶圆片还不普遍的时候,无论是从人体工程学的角度还是从晶片防污的角度来看,300mm这个尺寸和更小的芯片拓扑结构使得操作人员装卸材料的工作十分困难,300mm标准就由此诞生了。

无论是什么样的加工材料, 许多面临类似挑战的新工厂都在其高度自动化的生产线上采用了这些标准,要求工厂内的所有设备都具有完全符合300mm的标准。

GEM300 communication graphic

EDA / Interface A

提高产量和质量的大容量数据

大数据应用程序分析大量设备报告的实时数据,以提高生产的吞吐量和质量。虽然使用SECS-II消息传递的常规GEM接口支持设备数据发布,但其主要目的是在没有本地运营商在场的情况下运行设备;数据发布不能干扰远程控制。

设备数据采集(EDA)——也被称为Interface A——提供了满足这一需求的高速数据采集。由EDA组成的一套SEMI标准定义了从设备到任何EDA客户端/用户(如工厂主机)的高容量数据发布的替代通道。

EDA (Interface A) architecture diagram

网络安全SEMI标准

SEMI网络安全标准SEMI E187、SEMI E188和SEMI E191旨在解决工厂面临的两个最主要的风险领域:

  • 感染的设备被交付并集成到工厂中
  • 未维护的设备随着时间的推移变得脆弱
SEMI E187:半导体设备网络安全规范

SEMI E187旨在为半导体工厂设备提供一个基础的安全性标准,通过在半导体生产设备和自动化物料搬运系统的设计、操作和维护中,采取必要的网络安全措施。

SEMI E187适用于运行Microsoft Windows和Linux操作系统的设备,并在以下领域提供基本要求:

  • 操作系统(OS)支持
  • 网络安全
  • 端点保护
  • 安全监控

观看我们关于SEMI E187的演讲视频 (35分钟左右)

点此了解 PEER E187 合规评估服务,协助设备符合 SEMI E187 标准。

SEMI E188:无恶意软件设备集成规范

SEMI E187侧重于设备安全需求的总体视角,而SEMI E188则提供了一个框架,用于在设备集成和支持活动中,减少恶意软件传播到制造设施的风险。

该标准定义了安全系统和流程,确保制造设备的安全性,特别是明确以下要求:

  • 控制通过网络、可移动媒体等对制造设备的访问
  • 制造设备的安装

  • 制造设备的升级和支持任务,包括设备恢复,如硬盘驱动器(HDD)或计算机组件更换

  • 识别以及修复设备软件中存在的漏洞
SEMI E191:计算设备网络安全状态报告

SEMI E191描述了设备供应商提供的每个连接到工厂网络的计算设备必须报告的网络安全状态信息。这些信息有助于工厂评估设备带来的网络安全风险。例如,过时的操作系统因未收到操作系统制造商的安全更新,可能更容易受到恶意软件攻击。

SEMI E191要求实施者报告每个计算设备的五个基本操作系统详细信息:

  • 计算设备标识符
  • 操作系统制造商
  • 操作系统名称
  • 操作系统版本
  • 操作系统构建版本

SEMI PV2

适用于多行业的工厂与设备的沟通标准

GEM(SEMI E30)标准是半导体制造业内工厂与设备沟通和控制的基准,但这个标准也能很容易地推广到其他行业。工厂和设备供应商通过使用一个共同的界面,减轻他们集成工作的负担,并提高设备的能力。

SEMI PV2标准是SEMI E30标准的一个部分,它概述了设备所必须支持的最常见GEM功能标准的具体应用细节。类似于SEMI E148标准,PV2标准包含了数据项的特定格式、精简化的所需变量和事项的列表、仅限于未格式化制程程序的管理,以及更详细的时钟管理。SEMI E30标准中描述的一些SECS-II消息在PV2应用中也不是必要的。