SEMIスタンダード

スマートマニュファクチャリングのためのSEMI自動化スタンダード

SEMI®は、半導体、太陽光発電(PV)、エレクトロニクス、その他ハイテク産業の製造サプライチェーンに貢献する世界的な業界団体です。SEMIは、SEMI International Standards Programを管理し、業界のサプライヤーとお客様との間で交わされる技術的な合意を発展させたSEMI自動化スタンダードを作成しています。

SEMI Standards overview graphic

SEMI自動化スタンダードは、ビッグデータの取得や高度な分析機能など、業界にとって重要な成功要因となっています。ファクトリーオートメーションソフトウェアにおける業界最大のサプライヤーである弊社において、SEMI自動化スタンダードの理解は事業活動に必要不可欠なものです。

私たちは、いくつかのSEMI技術委員会とタスクフォースにてリーダーシップを発揮しており、さまざまな重点分野について解説を提供できる唯一のポジションにいます。

SECS/GEM

工場ホストシステムと製造装置間の通信

SEMI E30 GEMスタンダードは、工場ホスト(MES) と製造装置間の通信および制御機能のサポート方法を規定しています。詳細シナリオでは、特定の機能を実現するために使用する必要があるSECS-IIメッセージ(SEMI E5スタンダードの定義による)の正確なシーケンスとサブセット、およびホストに提供する必要がある装置データの概要を示します。その目的は、装置がどのように動作しているかをホストが把握できるように十分な情報を収集し、製品の処理をリモートで管理するための十分な監視制御を提供することです。結果として、現場作業員が、常に工場の現場に居る必要はありません。

SECS/GEM communication graphic

GEM300

300mm SEMIスタンダード

GEM(SEMI E30)と連携して動作するように構築されたスタンダード一式である「300 mmスタンダード」(SEMI E39、SEMI E40、SEMI E87、SEMI E90、SEMI E94、SEMI E116)は、工場ホストがリモートでのプロセス制御とマテリアルハンドリングに使用できる、より洗練されたアプローチを記述します。

新たに登場した300 mmウエハサイズとより小さなチップトポロジにより、人間工学と汚染の観点の両方から、現場作業員が材料をロードおよびアンロードすることが実用的ではなくなり、これらのスタンダードが開発されました。

同様の課題を抱える多くの新しい工場では、処理する材料の種類に関係なく、高度に自動化された生産ラインにこれらのスタンダードを採用しており、施設内のすべての装置は300 mmインターフェースに完全に準拠することを必要とします。

GEM300 communication graphic

SEMI PV2

多業種での工場-装置間通信

GEM(SEMI E30)スタンダードは、半導体製造における工場-装置間通信および制御のための標準規格ですが、他の産業にも容易に適用できます。共通のインターフェースを採用することで、工場や装置サプライヤーは、統合労力を減らし、設備能力を高めることができます。

SEMI PV2スタンダードはSEMI E30のサブセットで、装置がサポートしなければならない最も一般的なGEM機能の正確な実装詳細を概説しています。これには、データ項目の特定のフォーマット、必要な変数およびイベントの最小リスト、フォーマット無しレシピのみに限定されたプロセスプログラム管理、およびSEMI E148に類似したより詳細なクロック管理が含まれます。SEMI E30で説明されている一部のSECS-IIメッセージも、PV2実装では必要ありません。

Interface A(EDA)

スループットと品質を向上させるための大容量データ

ビッグデータ・アプリケーションは、装置から報告される大量のリアルタイム・データを分析し、スループットと品質を向上させます。SECS-IIメッセージングを使用する通常のGEMインターフェースは、装置からのデータ公開をサポートしますが、その主な目的は、現場作業員が存在しない装置を実行することです。データ発行がリモート制御に干渉することはありません。

Equipment Data Acquisition(EDA)(Interface Aとも呼ばれる) は、高速データ収集のニーズに応えます。EDAを構成する一連のSEMIスタンダードは、工場ホストなどのEDAクライアント/コンシューマに対して装置から大量のデータを発行するための代替チャネルを定義します。

EDA (Interface A) architecture diagram