SEMI 표준

스마트 제조를위한 SEMI 자동화 표준

SEMI®는 반도체, 광전지 (PV), 전자 및 기타 첨단 기술 산업 등의 제조 공급망을 지원하는 글로벌 산업 협회입니다. SEMI는 SEMI 국제 표준 프로그램을 관리하고 변화하는 업계 기술 규격 모음 인 SEMI 자동화 표준을 만들었습니다.

SEMI Standards overview graphic

SEMI 자동화 표준은 빅 데이터 수집 및 고급 분석 기능 등 업계에서 성공하는데 있어 중요한 요소들을 가능케 해줍니다. 당사는 업계 최대의 공장 자동화 소프트웨어 공급 업체로서 이러한 표준을 이해하고 있습니다. 또한 당사는 여러 SEMI 기술 위원회와 태스크포스 (TF) 에 대한 리더십을 바탕으로 다양한 중점 분야에 대한 논평을 제공할 수 있는 독보적인 위치를 차지하고 있습니다.

SECS/GEM

공장 호스트 시스템과 생산 장비 간의 통신

SEMI E30 GEM 표준은 공장 호스트 (MES) 와 생산 장비 간의 통신/제어 기능이 어떻게 지원되어야 하는지에 대해 설명합니다. 세부적으로는 특정 기능에 있어 SECS-II 메시지의 정확한 순서와 하위 집합이SEMI E5 표준에 따라 다루어지며, 어떤 장비 데이터가 호스트에게 제공되어야 하는지 서술됩니다. 이 표준의 목표는 호스트에게 장비가 어떻게 작동하고 있는지 충분한 정보를 제공하고 제품 처리를 원격으로 관리할 수 있는 충분한 감독 제어 기능을 제공하여 공장 현장에 항상 운영자가 상주하지 않도록 하는 것입니다.

SECS/GEM communication graphic

GEM300

300mm SEMI 표준

“300mm 표준”은 GEM (SEMI E30) 과 함께 작동하도록 구축된 표준 제품군 (SEMI E39, SEMI E40, SEMI E87, SEMI E90, SEMIE94, SEMI E116) 으로 공장 호스트가 원격 프로세스 제어 및 자재 처리에 사용할 수 있는 보다 정교한 접근 방식을 설명합니다. 이러한 표준들은300mm 웨이퍼와 더 작은 칩 토폴로지들이 부상하면서 로컬 운영자가 인체공학과 오염 관점에서 재료를 로드하고 언로드하는 것이 비실용적이게 되었기에 개발되었습니다. 처리 재료 유형에 관계없이 많은 신생 공장들은 비슷한 문제를 안고 있으며 이러한 표준을 채택함에 따라 생산 라인이 고도로 자동화됨과 동시에 설비 내의 모든 장비가 완전히300mm 인터페이스와 호환되도록 하였습니다.

GEM300 communication graphic

SEMI PV2

다중 산업 공장-장비 통신

GEM (SEMI E30) 표준은 반도체 제조의 공장-장비 통신 및 제어에 이용되는 벤치마크이지만 다른 산업에도 쉽게 적용할 수 있습니다. 공통 인터페이스를 채택함으로써 공장과 장비 공급업체 모두가 통합에 들어가는 노력을 줄이고 장비 기능을 향상시킬 수 있습니다.

SEMI PV2 표준은SEMI E30의 하위 집합으로 장비가 지원해야 하는 가장 일반적인 GEM 기능의 정확한 세부 구현 사항을 설명합니다. 이 표준은 데이터 항목의 특정 형식, 필수 변수 및 이벤트의 최소 목록, 비형식화된 레시피로만 이루어진 프로세스 프로그램 관리, SEMI E148과 유사한 보다 상세한 클럭 관리를 포함합니다. SEMI E30에 있는 일부 SECS-II 메시지는 PV2 구현에 필요하지 않습니다.

Interface A (EDA)

생산량 및 품질 향상을 위한 대용량 데이터

빅데이터 애플리케이션은 장비에서 보고되는 대량의  실시간 데이터를 분석하여 처리량과 품질을 개선합니다. SECS-II 메시징을 사용하는 일반 GEM 인터페이스는 장비 데이터 발생을 지원하지만, 주요 목적은 로컬 운영자없이 장비를 실행하는 것입니다. 데이터 발생은 원격 제어를 방해해선 안됩니다.

인터페이스 A라고도하는 EDA (Equipment Data Acquisition) 는 이러한 요구를 해결하는 고속 데이터 수집을 지원합니다. EDA를 구성하는 SEMI 표준 제품군은 장비에서 발생한 대량의 데이터가 공장 호스트와 같은 모든 EDA 클라이언트/소비자에게 전달될 수 있는 대체 채널을 정의합니다.

EDA (Interface A) architecture diagram