SEMI標準

SEMI智慧製造自動化標準

SEMI®(國際半導體產業協會)是一個全球性的產業協會,服務於半導體、太陽能(PV)、電子等高科技行業的製造供應鏈。SEMI管理著SEMI國際標準項目,並創建了SEMI 自動化標準,這是行業內供應商和客戶之間不斷發展的技術協議。

SEMI Standards overview graphic

SEMI自動化標準為半導體行業提供了關鍵的成功因素,包括了大數據採集和精細分析能力。作為行業內最大的工廠自動化軟體供應商,理解這些標準對於我們的成功至關重要。我們在數個SEMI技術委員會和工作小組都具有領導地位,也使得我們在各種重點領域都有話語權。

SECS/GEM

工廠主機系統和生產設備之間的溝通

SEMI E30 GEM標準闡述了工廠主機(MES)和生產設備之間應該如何支持溝通和控制能力。詳細的場景概括了SECS-II消息的準確順序和部分(就如SEMI E5標準中定義的),這些消息應該用於哪一項特定的功能,以及必須向主機提供哪些支持設備數據。其目的是收集足夠的資料,讓主機了解設備的運行情況,並提供足夠的監控來遠端管理產品的生產,這樣就不需要作業員一直在工廠現場。

SECS/GEM communication graphic

GEM300

SEMI 300mm標準

這套標準通常被稱為“300mm標準”(包含了SEMI E39、SEMI E40、SEMI E87、SEMI E90、SEMI E94、SEMI E116),與GEM SEMI E30一並定義了一種更復雜的規範、讓工廠主機可用以進行遠端控制和物料搬運的工序。

在300mm晶圓還不普遍的時候,無論是從人體工程學的角度還是從晶片防污的角度來看,300mm這個尺寸和更小的晶圓結構使得操作人員裝卸材料的工作十分困難,300mm標準就由此誕生了。

無論是什麽樣的加工材料, 許多面臨類似挑戰的新工廠都在其高度自動化的生產線上採用了這些標準,要求工廠內的所有設備都具有完全符合300mm的標準。

GEM300 communication graphic

SEMI PV2

適用於多行業的工廠與設備的溝通標準

GEM(SEMI E30)標準是半導體製造業內工廠與設備溝通和控制的基準,但這個標準也能很容易地推廣到其他行業。工廠和設備供應商通過使用一個共同的界面,減輕他們工作整合上的負擔,並提高設備的能力。

SEMI PV2標準是SEMI E30標準的一個部分,它概述了設備所必須支持的最常見GEM功能標準的具體應用細節。類似於SEMI E148標準,PV2標準包含了數據項的特定格式、精簡化的所需變數和事項的列表、僅限於未格式化製程程序的管理,以及更詳細的時間管理。SEMI E30標準中描述的一些SECS-II消息在PV2應用中也不是必要的。

Interface A(EDA)

提高產量和質量的大容量數據

大數據應用程序分析大量設備報告的即時數據,以提高生產量和生產品質。雖然使用SECS-II消息傳遞的標準GEM介面支持設備的數據傳遞,但其主要目的是在沒有本地設備商在場的情況下操作設備;數據傳輸與遠端控制不能互相干擾。

設備數據收集(EDA)——也被稱為Interface A—提供了滿足這一需求的高速數據收集。由EDA組成的一套SEMI標準定義了從設備到任何EDA客戶端/用戶(如工廠主機)的高容量數據傳遞的替代通道。

EDA (Interface A) architecture diagram